电镀技术

深入了解离子镀TiAIN涂层

发布时间:2012年05月31日

深入了解离子镀TiAIN涂层

实施例

    航空发动机压气机叶片,经过表面打磨、去污、丙酮超声清洗及酒精漂洗,装入沉积腔中,镀膜过程件在真空室内公转和自转,坩埚中毒聊为含Al30%(原子百分比)的TiAl合金,沉积过程中工件温度为450℃。

沉积过程分为三个阶段:

第一阶段,引入N2前,工件表面沉积TiAl合金底层,电子枪束流为200A,基体偏压为-100V,真空度<0.01Pa,镀膜时间为1min。

第二阶段,引入N2真空度为0.2Pa,电子枪束流为300A,偏压为-20V,沉积时间15min;

第三阶段,保持真空室中N2压力不变,电子枪束流到400A,偏压调节到-50V,继续沉积80min。涂层厚度为6~8μm。