电镀技术

真空镀膜设备常用监控方法有哪几种?

发布时间:2012年07月03日

真空镀膜设备常用监控方法有哪几种?

    ◆真空镀膜设备镀膜常用监控方法,薄膜监控目前应用方式比较多,主要有:目视监控法,定(极值)值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定(极值)监控和水晶振荡监控三种。

    ◇目视监控也叫直接监控,就是采用眼睛监控,因为薄膜在生长的过程中,由于干涉现象会有颜色变化,我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的,此种方式有一定的误差,所以不是很准确,需要依靠经验。

◆定值监控法:

    此方法利用停镀点不在监控波长四分之一波位,然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率(或者穿透率)是多少,此即为停止镀膜点。

◇水晶振荡监控:

    水晶振荡的工作原理是:利用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理工作的。但是石英监控有一个不好之处就是当膜厚增加到一定厚度后,振动频率不全然由于石英本身的特性使厚度与频率之间有线性关系,此时必须使用新的石英振荡片。

    ◆几种监控方法各有优劣,但通常镀多层膜,会以光学监控为主,石英晶体振荡为辅助的方法。