电镀技术

离子镀设备包括那些内容?

发布时间:2012年07月07日

离子镀设备包括那些内容?

离子镀设备包括:

①一个能够被抽真空的真空腔;

②一个安置在真空腔内以便容放基片座;

③一个电源单元,它通过基片座向真空腔提供用以将要形成在基片上的薄膜材料变成等离子体的能量并利用等离子体在基片上沉淀薄膜;

④电源单元包括一个用于输出偏电压的偏压电源,所述偏电压由一个具有预定负电压值并输出预定时间的负偏压成分和一个脉冲偏压成分组成,所述脉冲偏压成分对应于一个具有正电压值并输出预定时间的脉冲输出,所述偏电压的周期被设定为1kHz~1GHz。