电镀技术

离子镀该设备主要有哪些组成?

发布时间:2012年07月09日

离子镀该设备主要有哪些组成?

    一种根据权利要求1~4之一的离子镀设备,其特征在于:偏压电源单元包括一个用于形成负偏压的直流电源和一个用于形成脉冲偏压的脉冲列电源,它还包括:

◆一个地儿低通滤波器,位于直流电源和基片座之间以使直流电源的输出通过该低通滤波器传向基片座并阻止脉冲列电源的输出进入直流电源;

◆一个带通滤波器,位于脉冲列电源和基片座之间以使脉冲列电源的输出通过该带通滤波器传向基片座并阻止直流电源的输出进入列电源;

◆一用于输出射频能的射频电源单元;

◆一个高通滤波器,位于射频电源单元和基片座之间以使射频电源单元的输出通过高通滤波器传向基片座并阻止偏压电源单元的输出进入射频电源单元;

◆第二低通滤波器适用于进一步阻止射频电源的输出被输入直流电源;带通滤波器适用于进一步阻止射频电源的输出被输入脉冲列电源。