电镀技术

用电弧离子镀沉积氮化钛铌硬质薄膜方法的技术参数

发布时间:2012年07月11日

电弧离子镀沉积氮化钛铌硬质薄膜方法的技术参数

         用电弧离子镀沉积氮化钛铌硬质薄膜的方法,先将工件清洗干燥后放入设备真空室中,经过抽真空、通氩气、启弧、加负偏压。溅射清洗、通氮气、镀膜、停弧、断电、炉冷阶段后取出工件,器特征在于:在镀膜阶段,选择纯钛和纯铌作阴极靶材,纯钛和纯铌相间隔分别置于电弧离子镀的弧源位置上,镀膜是两种阴极靶材的弧电流配置In为60~95A,INb为85~105A。