电镀技术

电弧离子镀沉积氮化钛铌硬质薄膜的实例

发布时间:2012年07月16日

电弧离子镀沉积氮化钛铌硬质薄膜的实例

    结合实施例对电弧离子镀沉积氮化钛铌硬质薄膜做进一步的说明。

    将高速钢基体工件经过清洗干燥后放入设备真空室中,纯钛和纯铌相间隔分别置于电弧离子镀的弧源位置上,抽真空到10-2Pa,负偏压到-1000V,进行溅射清洗5分钟,停氩气、通氮气到0.4Pa,负偏压降到-300V,启铌弧,选择两种靶材的弧流配置为ITi为70A,INb为90A,开始镀膜,40分钟后停弧、停气、断气、炉冷1小时后,放掉真空取出工件,沉积合成3~4μm厚的氮化钛铌硬质薄,(TixNb1-x)N中的x为0.45,硬度达HV3400.