电镀技术

电弧型离子镀装置的夹持器是什么?

发布时间:2012年07月17日

 

电弧型离子镀装置的夹持器是什么?

 

    一种电弧型离子镀装置具有用于夹持基底的夹持器。该夹持器安装在真空室中。传输弯管的一端连接于该真空室上以面对夹持器上的基底。该传输管具有方形或椭圆形界面。多个电弧蒸发源沿纵向Y布置在传输管的另一端。各个电弧蒸发源通过真空电弧放电容化阴极,从而产生含阴极材料的等离子体。用于形成沿传输管弯曲的磁场的磁性线圈布置在传输管的外周。由电弧蒸发源产生的等离子体通过磁场引导至真空室内的基底附近。