电镀技术

了解电弧型离子镀装置所包含的内容?

发布时间:2012年07月18日

了解电弧型离子镀装置所包含的内容?

电弧型离子镀装置,该装置包括:

◆可抽空的真空室;

◆安装在所述真空室中的用于夹持基底的夹持器;

◆为弯管的传输管,该弯管的一端连接于真空室以面对所述夹持器夹持的所述基底;

◆多个独立的具有阴极的电弧蒸发源,每个阴极由真空电弧放点所熔化以产生含阴极材料的等离子体,所述的蒸发源置于所述传输管的另一端并且沿所述传输管的方形截面的长边方向布置;以及所述传输管外周布置的磁性线圈,用于形成沿所述传输管弯曲的磁场,以便通过该磁场讲由多个所属电弧蒸发源产生的所述等离子体引导至所述真空室中的所述基底周围。