电镀技术

电弧型离子镀具有高效率的成膜速

发布时间:2012年07月20日

电弧型离子镀具有高效率的成膜速

    成膜速度高的原因是使用真空电弧放电熔化阴极。从而可蒸发大量的阴极材料。粘合性能高的原因是通过负偏压等产生的电场将等离子体引导在基底上,从而冲击基底。

    但是,由电弧蒸发源的阴极蒸发产生的阴极材料不仅含有适合于成膜的细颗粒,而且还含有大颗粒,所述的大颗粒是每个具有约几微米至约几时微米的大块颗粒(这种大颗粒也称作“液滴”或者“大型颗粒”)。所产生的问题是这种大颗粒飞溅并且粘结在基底上,从而薄膜表面的平滑度低或者薄膜粘结于基底上的粘结性能差。