电镀技术

如何解决电弧型离子镀大颗粒的问题?

发布时间:2012年07月21日

如何解决电弧型离子镀大颗粒的问题?

    一种解决这种由大颗粒造成的问题的方法是JP-A-8-199346公开的电弧型离子镀装置,该装置具有电弧蒸发源,使用气吹机构将放映气体吹响阴极附近,其中反应气体与阴极材料反应以形成化合物。

    根据该申请公开的电弧型离子镀装置,反应气体与阴极材料反应,从而在阴极的蒸发表面形成高熔点的化合物。因此,形成大量的用于电弧放电的阴极斑点,从而使电弧电流分配在多个阴极斑点之间。结果,可能限制大颗粒在电弧蒸发源周围飞出去。因此可形成平滑度好的薄膜。