电镀技术

可防止浪费蒸发材料的离子镀膜装置

发布时间:2012年07月23日

http://ynrpt.com可防止浪费蒸发材料的离子镀膜装置

     当在基片上形成薄膜期间,等离子束是指向坩埚,等离子束的电流流经坩埚的。而当在基片上完全形成薄膜之后,到在后续的基片上开始形成薄膜之前的一段时期内,使等离子束指向辅助阳极,以使等离子束电流通过辅助阳极而流动。