电镀技术

离子镀膜的特征体现在那些方面?

发布时间:2012年07月25日

离子镀膜的特征体现在那些方面?

一种如权利要求l所要求的离子镀膜装置,其特征在于,还包括:

▶用于在所述等离子束发生器中产生放电的放电电源;

▷所述的辅助阳极具有一环形磁体和一环状磁盒,该环形磁体与所述的坩埚同心,并设置在所述坩埚的上体的周围;

▶该环形磁体与所述的坩埚电气上相互绝缘;

▷该环状磁盒与所述放电电源通过导电状态控制装置相连接;

▶仅当基片上完全形成薄膜之后到在后续基片上开始形成薄膜之前一段时间内,该导电状态控制装置保持闭合。