电镀技术

适用于离子镀膜装置的操作方法是什么

发布时间:2012年07月26日

适用于离子镀膜装置的操作方法是什么?

    一种适用于离子镀膜装置的操作运行方法,该装置包括,一个具有等离子束发生器的真空室,一个放在真空室中用作阳极的坩埚,和一个设置在所述坩埚周围的辅助阳极,由所述等离子束发生器产生的一等离子束作用在所述坩埚中的蒸发材料上使之蒸发及电离,离子化后的蒸发质点沉积在置于所属坩埚对面的基片表面,以在基片上形成一薄层蒸发材料

该方法的特征在于,包括:

    当基片上正在形成薄膜的这段时间内,使等离子束指向所述的坩埚以使等离子束的电流通过坩埚而流动;和当在基片上完全形成薄膜之后到在后续的基片上开始形成薄膜之前的这段时间内,使等离子束指向辅助阳极,以使等离子束的电流通过辅助阳极而流动。