电镀技术

气相离子镀膜装置主要由什么组成的?

发布时间:2012年07月28日

气相离子镀膜装置主要由什么组成的?

气相离子镀膜装置,其特征是由:

  1. 气源柜
  2. 气体流量控制器
  3. 储液及液体雾化装置
  4. 真空室
  5. 真空泵
  6. 电控柜

    气源柜通过气体流量控制器与真空室链接,其中气源柜中的氩气源通过气体流量控制器与储液及液体雾化装置连接后再与真空室连接,在真空室内装有分层交替相间设置的工件架、电热元件和电极网,电极网和工件架与电控柜的高压直流发生器连接,在真空室的上部装有温控器、真空表和放气阀。