电镀技术

真空镀膜设备磁偏转线圈及灯丝位置的确定和感应加热式蒸发源结构

发布时间:2012年09月28日

 

真空镀膜设备磁偏转线圈及灯丝位置的确定和感应加热式蒸发源结构:
1. 真空镀膜设备膜材蒸发时所需热量
2. e型枪蒸发源的水冷却
3. e型枪蒸发源的电源
4. 真空镀膜设备多枪蒸发源的设计安装
结构设计
1. 坩埚设计
2.真空镀膜设备电源及其频率的选择
2.真空镀膜设备电源及其频率的选择真空镀膜设备磁偏转线圈及灯丝位置的确定和感应加热式蒸发源结构
1. 真空镀膜设备膜材蒸发时所需热量
2. e型枪蒸发源的水冷却
3. e型枪蒸发源的电源
4. 真空镀膜设备多枪蒸发源的设计安装
结构设计
1. 坩埚设计
2.真空镀膜设备电源及其频率的选择