电镀技术

ITO真空镀膜设备膜镀膜生产线设备技术特点

发布时间:2013年12月30日


1) 真空室体材料采用 SUS304 ,真空室内壁进行抛光处理,外壁采用抛光后喷珠处理。
2) 真空室之间采用独立门阀—插板阀隔开,可以实现有效隔断,稳定工艺气体。目前我们公司采用插板阀设计,它比目前国内通用的翻板阀密封效果更好,更耐用。
3) 传动采用磁导向,保障传动的稳定性。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动,运行速度可调节。
4) 真空电镀设备电气控制系统:触摸屏与 P L C 自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制
技术参数
1) 极限真空压力:6× 1 0E-4 Pa
2) 平均生产周期:根据产品确定
3) 基片架尺寸:可以根据要求定做
4) 膜层均匀性: ± 3%

本文章由真空镀钛设备厂家提供  转载请注明出处http://www.ynrpt.com/