电镀技术

真空镀膜设备维护须知

发布时间:2012年04月13日

为了确保真空镀膜设备使用的长期良好状态和工作稳定性,我们需要了解以下几点常识。

1.真空镀膜设备在工作时,现场操控人员不允许长时间离岗。每炉开机前,必要检查保护气的气瓶容量,以避免充气量不足造成的意外后果。真空镀膜设备扩散泵换油时,需检查内部是否出现氧化,一旦发现即要把扩散泵内部的氧化层处理干净,然后再换新油。冷却水水压应保持0.1~0.2 Mpa之间,出水温度≤45℃。

2. 真空镀膜设备开机后如有异常情况,应立即排除或停机查找原因。需经常做到检查各部分的回水量,工作状态下应保证各部分有充足的冷却水。停止使用时,应将炉内气体抽空,长时间不用,要充入保护性气体,并把设备水冷套内的循环水放掉。气动系统的气动三连件上的油水分离器要经常放水,油雾器内应注入真空扩散泵油。充入的保护性气体,纯度不应小于99.99%。

3.设备上的电接点压力表、热偶、规管等处要经常涂上扩散泵油,使之与座之间形成一层油膜,以防止漏气。上述各部件及法兰连接处不可长期使用真空封泥密封。在拆修设备时,各部分不许用重锤敲击,密封面、密封槽不允许划伤。工作时,注意观察各仪表的显示情况,及各泵的工作声音,以便及时发现异常,找出并解决问题。各部位的紧固螺栓要做到定期检查,如有松动等情况,及时处理。