电镀技术

真空镀膜设备的操作程序

发布时间:2012年05月10日

    真空镀膜设备操作程序具体操作时请参照该设备说明书和真空镀膜机上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。
 
  ① 检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在"关"位置。

  ② 打开总电源开关,真空镀膜设备送电。

  ③ 低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。

  ④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。

  ⑤ 落下钟罩。

  ⑥ 启动真空镀膜设备抽真空机械泵。

  ⑦ 开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。

  a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。

  b.低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110mA时,左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。

  ⑧ 当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

  ⑨ 真空镀膜设备开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。

  ⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。

  等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时,开规管灯丝开关。
 
  a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。

  b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置